SE, BSE 차이점, EDS에 대하여

소개글

SE, BSE 차이점, EDS에 대하여에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

다. 시료에 조사된 전자가 X-선을 발생시키는 원리는 옆의 그림과 같다. 즉, 원자핵과 특정한 결합에너지로 구속되있는 시료에 임계에너지보다 높은 에너지의 가속전자를 때리면 에너지 준위가 낮은 K각에서부터 전자가 떨어져 나가게 되는데 이 상태를 원자의 불안정한 여기 상태라고 하며 이런 불안정한 상태에서 안정한 상태로 가기위해 상대적으로 에저니준위가 높은 L각, M각의 전자가 이용하여 높은 낮은 에너지 준위의 빈 자리를 채우게 되고, 이때 발생하는 여분의 에너지가 X-Ray 이다. 이 특성 X-선은 원자의 종류 및 전자 궤도에 따라 다르므로 이를 이용하여 시편의 화학적 성분을 정성 혹은 정량분석을 할 수 있는데, 이를 EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) 라고 한다.

키워드

SE,   BSE,   SEM,   EDS,   주사전자현미경,   원리,   전자 산란