목차
1. 실 험 제 목
2. 이론 및 내용
1) UTM (Universal Testing Machine)
2)SEM(Scanning Electron Microscope, 주사전단현미경)
3. 참 고 문 헌
2. 이론 및 내용
1) UTM (Universal Testing Machine)
2)SEM(Scanning Electron Microscope, 주사전단현미경)
3. 참 고 문 헌
본문내용
검출기 : 시료의 표면에서 나오는 신호를 검출
- 배기계 : 시료 스테이지와 검출기를 표함하는 시료실 및 전자선 통로를 진공으로 배기
② 전기계부
- 각종 전원 : 본체부를 제어. 가속전압 전원, 렌즈 전원, 주사 전원, 직류 전원 등
- 신호 처리계 : 검출기의 제어 및 신호를 증폭
- 상 표시부 : 신호를 음극선관(CRT)위에 상(image)으로 표시
- 카메라 장치 : 상을 기록
- 조작부 (조작 판넬) : 전기계 전체를 조작
③ SEM이 다른 현미경와 다른 점은 시료에서의 장소적인 신호를 시계열적으로 처리한다.
④ 전체의 시스템 중에서 주사계, 신호처리계 및 상 표시, 기록계가 특징
그림 3. SEM의 구성
3. 참 고 문 헌
주사현미경의 기초, 양도출판사, 황연욱 외 1명, P.3 ~ 10
- 배기계 : 시료 스테이지와 검출기를 표함하는 시료실 및 전자선 통로를 진공으로 배기
② 전기계부
- 각종 전원 : 본체부를 제어. 가속전압 전원, 렌즈 전원, 주사 전원, 직류 전원 등
- 신호 처리계 : 검출기의 제어 및 신호를 증폭
- 상 표시부 : 신호를 음극선관(CRT)위에 상(image)으로 표시
- 카메라 장치 : 상을 기록
- 조작부 (조작 판넬) : 전기계 전체를 조작
③ SEM이 다른 현미경와 다른 점은 시료에서의 장소적인 신호를 시계열적으로 처리한다.
④ 전체의 시스템 중에서 주사계, 신호처리계 및 상 표시, 기록계가 특징
그림 3. SEM의 구성
3. 참 고 문 헌
주사현미경의 기초, 양도출판사, 황연욱 외 1명, P.3 ~ 10
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