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주사전자현미경
S E M
SEM 이론
SESSION 01
SESSION 01
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주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope)란
≪ 그 림 ≫
집속된 전자빔을 시료표면에
주사하면서 전자빔과 시료와의
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electron)들이 전자들의 개수를 비례적으로 증가시키는 photomultiplier에 들어간다. SEM에 장착된 phtomultiplier의 gain을 변화시키는 부위는 모니터에 나타나는 영상전체의 contrast를 변화시키는 역할을 한다.
phtomultiplier에 의해서 발생된 약한 전압은 SE
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해상도를 얻을 수 있다. 1차 양극은 3~5kV의 고전압을 가하여 팁으로부터 전자를 방출하게 하고 2차 양극과 팁 사이에는 최대 30kV의 가속전압이 가해지게 된다.
5)논의 및 고찰
시편을 준비할 때 polishing 과 etching을 조심해서 하여야 한다. polishing
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[네이버 지식백과] 주사전자현미경 [Scanning Electron Microscope] (두산백과) 1. 과제의 배경
2. 실험목적
3. 관련 이론 및 배경지식
4. 실험기구 및 장치
5. 실험 방법
6. 결과 예측
7. 실험결과
8. 결과분석
9. 참고문헌
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Scanning Electron Microscope)
1. SEM이란?
2. SEM의 개발 역사
3. SEM의 작동 원리
4. SEM의 구성
① 전자광학계(Electrical optical system)
② 시료실(Specimen stage)
③ 검출기(Secondary electron(SE) detector)
④ 배기계(Vacuum system)
⑤ 전기계(Electronics)
5. SEM의
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Electronic Eng.
Graduate School
Cheongju Univ.
Advesed by
Prof. Hong-Bae Kim
In this paper, the inspection of surface properties under n-octadecyltrichlorosilane treated SiO2 film was carried out by current-voltage characteristic and the scanning electron microscope. The voltage at zero current in l
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