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SEM으로 관찰한 여러 가지 영상
① 분말시료
② 나비날개
③ 반도체 SEM(Scanning Electron Microscope)
1. SEM이란?
2. SEM의 개발 역사
3. SEM의 작동 원리
4. SEM의 구성
① 전자광학계(Electrical optical system)
② 시료실(Specimen stage)
③ 검출기(Secondar
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platinum, 혹은 gold/palladium alloy의 금속을 sputter coating machine을 사용하여 coating인다. 금속 coating은 시편에 축적되는 고전압의 하전을 specimen stub과 접지된 SEM의 시료실(specimen stage)을 통하여 방전시킨다. 시편의 coating은 정전하를 방지하는 역할 외
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specimen stub에 붙인 다음 약 20 ∼ 30nm 정도의 얇은 두께로 gold, platinum, 혹은 gold/palladium alloy의 금속을 sputter coating machine을 사용하여 coating인다. 금속 coating은 시편에 축적되는 고전압의 하전을 specimen stub과 접지된 SEM의 시료실(specimen stage)을 통하
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specimen stub에 붙인 다음 약 20 - 30nm 정도의 얇은 두께로 gold, platinum, 혹은 gold/palladium alloy의 금속을 sputter coating machine을 사용하여 coating인다. 금속 coating은 시편에 축적되는 고전압의 하전을 specimen stub과 접지된 SEM의 시료실(specimen stage)을 통하
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1. 실험목적
2. 이론
가. SEM
나. SEM의 구성
1) 전자광학계(Electrical optical system)
2) 시료실(Specimen stage)
3) 검출기(Secondary electron(SE) detector) - collect signal
4) 배기계(Vacuum system)
5) 전기계(Electronics)
다. SEM의 분
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