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분해능
※ SEM의 구성
※ SEM의 분해능(resolution)
◆ 분해능
◆ 수차(Aberations)
◆ 초점심도(Depth of field)
※ 전자현미경(SEM)의 분류
※ 전자빔과 시편과의 상호작용
※ 작동원리
※ 2차전자의 발생
※ 2차전자 Detector
※ SEM Specimen preparati
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분해능
라. SEM의 시편준비
마. 가속전압(accelerating voltage)의 영향
바. Working distance 와 Depth of focus 와의 관계
사. SE image 와 BSE image의 차이
1) Secondary Electron
2) Back Scattered electro
3) SE image 와 BSE image 의 차이점
3. 실험
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초점이 조절되며 분해능은 500lin정도이다. CRT는 지속성의 황~청으로 구성되며ㅓ 경우에 따라서는 Contrast를 높이기 위해 황색 필터를 부착하는 수도 있다. 기록용 CRT도 역시 전자적으로 초점이 조절되며 10.5kV 정도에서 작동하며 분해능은 800lin
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초점심도가 우수한 SEM(Scanning Electron Microscope)이 개발되었다. 1965년 세계 최초의 상업용 SEM이 등장하였고 이후 30여년 동안 분해능, 기능성, 조작의 편리성 등에서 놀라운 기술적 진보가 이루어졌다. 현재 SEM은 거의 모든 산업 및 과학분야에서
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분해능 SEM은 10Å이하의 해상력
을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상
의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰
하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물
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