본문내용
분석 시간은 약 2분이며, 이는 온라인 분석을 가능하게 한다. 이 방법의 가능한 크기 범위는 1~1800㎛이다. 그러나 특수 장치의 작업 크기 범위는 모델에 따라 변하며, 선택이 가능하다. 이 방법은 입자들의 밀도에 무관하며, 제조업체에서 보정된다. 검출한계보다 더 미세한 입자들은 자료에 포함되지 않는다.
마이크론이하 크기 분석이 동적 광산란으로부터 얻어질 수 있다. 동적 광산란에서, 브라운 운동에 의해 발생된 입자 속도와 연관된 도플러 진동수 변위가 측정된다. 또한 넓은 각의 Mie산란이 마이크론이하 크기 분석에 이용된다. 정밀성, 속도, 작업의 용이성, 다용도성 및 유지 용이성 때문에 입자크기 분석에 대한 광 화절 장치의 대중성이 최근 급속히 증가되고 있다.
5. SEM(Scanning Electron Microsope)
SEM은 Scanning Electron Microsope의 약자로 주사전자현미경이라고 한다. 주사형 현미경은 Secondary Electron, Back-Scattered Electron, X-ray, Visible light, Infrared Energy 또는 Currents From Semiconductors 등의 서로 다른 전자선에 의해 유도된 Signal로부터 얻은 다양한 전보를 가질 수 있기 때문에 모든 물체의 표면관찰과 화학물질의 조성과 전기적 성질 및 물질의 상호관계까지도 규명할 수 있다. 또한 주사전자현미경은 광학현미경, 형광현미경과 비교할 수 있는 상을 맺을 수 있는데 초점심도가 매우 크기 때문에 주로 입체적인 상을 얻을 수 있고 시료의 제작도 매우 간편하며, 경우에 따라서 화학적인 처리 없이 간편한 물리적인 조작으로 생체시료를 있는 그대로 관찰할 수 있다.
이와 같이 전자 및 전자기파를 신호로 하여 브라운관 위에 밝기의 변화로서 상을 나타내도록 만든 장치를 주사전자현미경이라 한다. 따라서, CRT에 나타난 화상은 시료의 각 점으로부터 방출되는 전자 또는 전자기파의 양의 다소를 나타낸 것이다. 주사전자현미경에서는 보통 2차 전자를 주된 정보로서 사용하는데 이 2차 전자의 발생량은 시료표면의 요철에 의한 것이므로, 이 장치로서 시료 표면의 형태를 알 수 있다.
시료 위에서 전자선의 진폭과 CRT의 한 변의 비가 배율이 되기 때문에 전자선의 진폭을 적게 하면 배율이 올라가고, 크게 하면 배율이 내려간다. 초점을 맞추려면 대물렌즈의 강도를 바꾸어 원추상의 전자선의 전점을 시료 위에 일치시켜 주면 된다.
주사전자현미경의 기능
(1) 상
주사전자현미경은 일정한 부위에 주사한 전자선과 상을 맺는데 이용한 광선의 에너지에 따라 상을 얻으며, 필라멘트로부터 나온 전자가 콘덴서 렌즈에 의하여 응축된 전자선을 형성하면서 이 전자선이 시료의 표면을 두 쌍의 Scanning Coil에 의해 반복하여 조사하면서 가로, 세로 모영의 전자선을 받게 된다. 그와 동시에 Generator의 전류가 음극관의 Scanning Coil을 통하여 시료표면에서와 동일하게 확대된 선을 만들면서 확대된 상이 CRT에 맺혀진다. 따라서 높은 해상력과 함께 기료에 대한 충부한 정보를 얻을 수 있다. 주사전자현미경의 상을 만들고 작동하는 데는 Electron-Optical Column, Vacuum System, Signal Detection과 Display System의 세 가지 주된 부분으로 나눌 수 있다.
(2) Electron Optical Column
Electron Optical Column의 구성은 전자총, 2~4개의 전자렌즈, Aperture, Stigmator 및 Scanning Coil로 구성되어 있다. 일반적인 전자총은 3극 진공관 형태로 설계되어 있으며, 높은 전류밀도의 교차가 일어나게 된다. 전자총은 직경 2m정도의 aperture가 있는 원통형의 양극으로 이루어져 있다. 높은 전압에 의해서 필라멘트가 가열되면 전자가 튀어나와서 음극인 aperture를 통과하면서 전자원의 교차점을 형성하고 전자확산을 방지하여 모든 전자가 통과하도록 되어 있다. 양극은 접지에 의해 작동되며, 전자장의 가속화에 관여하고 전자렌즈는 자기성이거나 정전기성으로 전자총에서 나온 전자선의 반경을 줄이는 역할을 한다. 반경 5㎛의 전자총으로부터 나온 전자선이 렌즈를 통하여 시료표면에 도달할 때에는 5~10㎛로 줄어들게 되며, 렌즈 체제의 마지막 부위인 Scanning Coil이 시료표면의 일정한 부위를 선으로 조사하는 작용을 하게 도니다. Aperture는 두 가지 기능이 있는데 하나는 전자선과 시료표면 사이에 전자선을 이루게 하는 기능이고, 다른 하나는 흩어진 전자를 모음으로 상의 흐트러짐을 방지하는 작용이다 Stigmator는 네 개의 자기코일로 전류를 조절해서 렌즈 수차에 의한 상의 일그러짐을 조정하는 장치이며, Scanning Coil은 전자선을 시료표면의 일정한 부위를 반복 주사하는 장치인데 주사속도는 10m/s이하이다.
(3) Vacuum System
현미경이 작동 중일 때는 Electron Optical Column 뿐만 아니라 Specimen Stage가 들어있는 Specimen Chamber도 고진공 상태를 유지해야 하며 Rotary Pump와 Oil Diffusion Pump를 이용하여 Column과 Chamber내의 진공을 유지하며 항상 10~4torr이하의 진공을 유지해야 한다.
(4) Visual and Record Diplay
일반적으로 관찰용과 기록용 두 개의 CRT가 있다. 관찰용 CRT는 전자적으로 초점이 조절되며 분해능은 500lin정도이다. CRT는 지속성의 황~청으로 구성되며ㅓ 경우에 따라서는 Contrast를 높이기 위해 황색 필터를 부착하는 수도 있다. 기록용 CRT도 역시 전자적으로 초점이 조절되며 10.5kV 정도에서 작동하며 분해능은 800lin정도로 사진촬영에는 단수성의 청색인을 사용하게 된다. 카메라는 polaroid 또는 롤 필림형을 사용하며, 기록용 CRT에 부착되어 있다. 사진의 질은 CRT의 Scan 속도, 밝기, Contrast 및 사용한 Fil,에 따라서 달라진다. 상기요인의 적절한 조합에 의해서 노출시간이 결정된다.
마이크론이하 크기 분석이 동적 광산란으로부터 얻어질 수 있다. 동적 광산란에서, 브라운 운동에 의해 발생된 입자 속도와 연관된 도플러 진동수 변위가 측정된다. 또한 넓은 각의 Mie산란이 마이크론이하 크기 분석에 이용된다. 정밀성, 속도, 작업의 용이성, 다용도성 및 유지 용이성 때문에 입자크기 분석에 대한 광 화절 장치의 대중성이 최근 급속히 증가되고 있다.
5. SEM(Scanning Electron Microsope)
SEM은 Scanning Electron Microsope의 약자로 주사전자현미경이라고 한다. 주사형 현미경은 Secondary Electron, Back-Scattered Electron, X-ray, Visible light, Infrared Energy 또는 Currents From Semiconductors 등의 서로 다른 전자선에 의해 유도된 Signal로부터 얻은 다양한 전보를 가질 수 있기 때문에 모든 물체의 표면관찰과 화학물질의 조성과 전기적 성질 및 물질의 상호관계까지도 규명할 수 있다. 또한 주사전자현미경은 광학현미경, 형광현미경과 비교할 수 있는 상을 맺을 수 있는데 초점심도가 매우 크기 때문에 주로 입체적인 상을 얻을 수 있고 시료의 제작도 매우 간편하며, 경우에 따라서 화학적인 처리 없이 간편한 물리적인 조작으로 생체시료를 있는 그대로 관찰할 수 있다.
이와 같이 전자 및 전자기파를 신호로 하여 브라운관 위에 밝기의 변화로서 상을 나타내도록 만든 장치를 주사전자현미경이라 한다. 따라서, CRT에 나타난 화상은 시료의 각 점으로부터 방출되는 전자 또는 전자기파의 양의 다소를 나타낸 것이다. 주사전자현미경에서는 보통 2차 전자를 주된 정보로서 사용하는데 이 2차 전자의 발생량은 시료표면의 요철에 의한 것이므로, 이 장치로서 시료 표면의 형태를 알 수 있다.
시료 위에서 전자선의 진폭과 CRT의 한 변의 비가 배율이 되기 때문에 전자선의 진폭을 적게 하면 배율이 올라가고, 크게 하면 배율이 내려간다. 초점을 맞추려면 대물렌즈의 강도를 바꾸어 원추상의 전자선의 전점을 시료 위에 일치시켜 주면 된다.
주사전자현미경의 기능
(1) 상
주사전자현미경은 일정한 부위에 주사한 전자선과 상을 맺는데 이용한 광선의 에너지에 따라 상을 얻으며, 필라멘트로부터 나온 전자가 콘덴서 렌즈에 의하여 응축된 전자선을 형성하면서 이 전자선이 시료의 표면을 두 쌍의 Scanning Coil에 의해 반복하여 조사하면서 가로, 세로 모영의 전자선을 받게 된다. 그와 동시에 Generator의 전류가 음극관의 Scanning Coil을 통하여 시료표면에서와 동일하게 확대된 선을 만들면서 확대된 상이 CRT에 맺혀진다. 따라서 높은 해상력과 함께 기료에 대한 충부한 정보를 얻을 수 있다. 주사전자현미경의 상을 만들고 작동하는 데는 Electron-Optical Column, Vacuum System, Signal Detection과 Display System의 세 가지 주된 부분으로 나눌 수 있다.
(2) Electron Optical Column
Electron Optical Column의 구성은 전자총, 2~4개의 전자렌즈, Aperture, Stigmator 및 Scanning Coil로 구성되어 있다. 일반적인 전자총은 3극 진공관 형태로 설계되어 있으며, 높은 전류밀도의 교차가 일어나게 된다. 전자총은 직경 2m정도의 aperture가 있는 원통형의 양극으로 이루어져 있다. 높은 전압에 의해서 필라멘트가 가열되면 전자가 튀어나와서 음극인 aperture를 통과하면서 전자원의 교차점을 형성하고 전자확산을 방지하여 모든 전자가 통과하도록 되어 있다. 양극은 접지에 의해 작동되며, 전자장의 가속화에 관여하고 전자렌즈는 자기성이거나 정전기성으로 전자총에서 나온 전자선의 반경을 줄이는 역할을 한다. 반경 5㎛의 전자총으로부터 나온 전자선이 렌즈를 통하여 시료표면에 도달할 때에는 5~10㎛로 줄어들게 되며, 렌즈 체제의 마지막 부위인 Scanning Coil이 시료표면의 일정한 부위를 선으로 조사하는 작용을 하게 도니다. Aperture는 두 가지 기능이 있는데 하나는 전자선과 시료표면 사이에 전자선을 이루게 하는 기능이고, 다른 하나는 흩어진 전자를 모음으로 상의 흐트러짐을 방지하는 작용이다 Stigmator는 네 개의 자기코일로 전류를 조절해서 렌즈 수차에 의한 상의 일그러짐을 조정하는 장치이며, Scanning Coil은 전자선을 시료표면의 일정한 부위를 반복 주사하는 장치인데 주사속도는 10m/s이하이다.
(3) Vacuum System
현미경이 작동 중일 때는 Electron Optical Column 뿐만 아니라 Specimen Stage가 들어있는 Specimen Chamber도 고진공 상태를 유지해야 하며 Rotary Pump와 Oil Diffusion Pump를 이용하여 Column과 Chamber내의 진공을 유지하며 항상 10~4torr이하의 진공을 유지해야 한다.
(4) Visual and Record Diplay
일반적으로 관찰용과 기록용 두 개의 CRT가 있다. 관찰용 CRT는 전자적으로 초점이 조절되며 분해능은 500lin정도이다. CRT는 지속성의 황~청으로 구성되며ㅓ 경우에 따라서는 Contrast를 높이기 위해 황색 필터를 부착하는 수도 있다. 기록용 CRT도 역시 전자적으로 초점이 조절되며 10.5kV 정도에서 작동하며 분해능은 800lin정도로 사진촬영에는 단수성의 청색인을 사용하게 된다. 카메라는 polaroid 또는 롤 필림형을 사용하며, 기록용 CRT에 부착되어 있다. 사진의 질은 CRT의 Scan 속도, 밝기, Contrast 및 사용한 Fil,에 따라서 달라진다. 상기요인의 적절한 조합에 의해서 노출시간이 결정된다.
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