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SEM의 원리
● 주사전자현미경(SEM)
● 주사전자현미경(SEM)의 구성
● SEM의 분해능(resolution)
● SEM의 영상의 종류
● SEM의 배율과 초점심도
● 전자빔과 시편과의 상호작용
● 투과전자현미경(Transmision Electron Microscopy)
● 광학현미
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Electron Microscopy) : 한국뇌연구원, 투과전자
현미경 교육, https://www.kbri.re.kr/new/pages/sub/0746_view.html?no=21880
[2] Fig.5 주사 전자 현미경(SEM, Scanning Electron Microscopy) : PILETA, 보유장비,
http://www.pileta.co.kr/%EB%B3%B4%EC%9C%A0%EC%9E%A5%EB%B9%84/2191406
[3] Fig.6 Sputter 장
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SEM(Scanning Electron microscopy : 주사전자현미경)
1. 구 조
2. 전자선의 발생 원리
3. SE(Secondary Electron)와 BSE(Backscattered Eletron)의 차이와 장단점
4. 가속전압과 Image와의 관계
5. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer), WDS(Wavelengths Dispersive X-ray Spectrome
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Scanning Electron Microscopy>
기술이 진보함에 따라 마이크론 크기나 그 이하 크기의 시료에 대한 관찰과 분석을 통한 정확한 이해가 필요하게 되었다. 주사전자형미경(SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는
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주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)
기술의 진보와 함께 보다 미세 구조의 유기물, 무기물, 금속, 또는 이들의 복합체의 형상과 구조에 대한 보다 정확한 이해가 필요하게 되었다. 주사전자현미경은(SEM)은 고체 상태의 미세조직과 형상을
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Electronic Eng.
Graduate School
Cheongju Univ.
Advesed by
Prof. Hong-Bae Kim
In this paper, the inspection of surface properties under n-octadecyltrichlorosilane treated SiO2 film was carried out by current-voltage characteristic and the scanning electron microscope. The voltage at zero current in l
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