SEM(Scanning Electron microscopy : 주사전자현미경)의 원리와 구조

소개글

SEM(Scanning Electron microscopy : 주사전자현미경)의 원리와 구조에 대한 보고서 자료입니다.

목차

SEM(Scanning Electron microscopy : 주사전자현미경)

1. 구 조

2. 전자선의 발생 원리

3. SE(Secondary Electron)와 BSE(Backscattered Eletron)의 차이와 장단점

4. 가속전압과 Image와의 관계

5. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer), WDS(Wavelengths Dispersive X-ray Spectrometer)

본문내용

함수로 세기가 표시되기 때문에 에너지 분포 X-선 즉, EDX(Energy Dispersive X-ray)라고 한다. 이 방법은 앞의 WDS에 비하여 뒤늦게 개발되었으나 짧은 시간 동안에 시료에서 나오는 모든 X-선을 검출할 수 있기 때문에 보다 보편화된 X-ray Microanalysis법으로 현재 가장 널리 쓰이고 있다.
항 목
WDS
EDS
X선 분해능
5-10eV
150eV
Peak의 중복
적 음
많 음
정성분석의 속도
느림(약 15분정도)
빠름(약 1분정도)
정성분석의 정확성
정 확 함
비교적 정확
정량분석의 속도
느림 (약10분정도)
빠름(약2분정도)
검 출 기 구
Spectrometer + counter
Solid state detecter
냉 각
-
액체질소
EDS와 WDS의 차이점

키워드

전자현미경,   sem,   EDS,   WDS,   se와 bse,   SEM의 원리,   SEM의 구조,   SEM의 원리와 구조