전기공학 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)

소개글

전기공학 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

없음

본문내용

3. 실험결과
박막의 종류
박막의 두께
시편의 크기
측정 전류
측정 전압
측정 면저항
계산 면저항(이론값)
2조 IZTO(n-type)
340nm
1.5*1.5
100mA
275.8mV
12.38
12.1
4 point probe의 보정계수는 4.53이고 전류범위는 auto로 설정해 놨는데 이때 전류의 범위를 잘못 측정하면 재료가 탈 수 도 있다.
Sample size 계수는 40mm이상의 직경의 sample일 경우 4.534이고, 박막두께계수는 박막두께가 약400um이하 일 때 1이며 온도는 sample의 온도계수에 따라 약간의 변화가 있지만 약 23°C일 때 1에 가깝다.
, , () 이 식들을 이용하여 이론적 면 저항을 구 할 수 있다.
일반적으로 S=1mm이다. D는 박막의 한변의 길이를 뜻한다. a/D는 가로세로의 비율이다. 따라서 D/S=15 ,a/D=1 이다.
1nm=이다. t/S=이다.
, 따라서 =12.1 가 이론값이 된다.
측정한 면저항과 이론값은 약 0.27의 오차가 있다.
4.논의 및 결론
실험 당시 IZTO의 두께가 더 두꺼워 ITO보다 저항이 더 높게 나왔다. 그리고 오차의 이론값과 면저항의 오차에는 여러 가지 측면이 있겠지만 이 실험에서는 확연이 나타나는 부분은 박막의 넓이가 무한대라고 표현 될 만큼의 충분한 넓이를 가지지 못하여 측정당시 무한대라고 가정을 하고 보정계수 4.53과 차이를 가지면서 면저항에 오차가 생겼다.
그리고 측정 면저항에서 또한 의 공식을 이용하면 12.49의 값이 나온다. 탐침 당시 표면이 균일하지 못하거나 마모가 되는 등의 오차 이유가 있을 수 있다.

키워드

전기공학,   면저항 실험,   문제