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여년 동안 ESCA는 특히 고체표면과 계면의 구성원소나 그의 화학 결합상태를 밝혀내는 전자 분광법의 하나로 금속, 촉매, 반도체 소자 재료, 세라믹스, 박막, 고분자 피막 등의 연구에 널리 이용되면서 새로운 연구분야로 각광받고 있습니다다.
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전자부품에서 오염물 확인 등에 이용
참고 문헌 및 참고 사이트
- 기기분석의 원리, 2000, Douglas A. Skoog지음, 박기채 옮김, 자유아카데미
- 분석화학 기기분석, 2000, 최재성, 동화기술
- 기기분석(완전개정판), 1983, 이대운, 대한교과서
- http://www1.s
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전자를 KL1L3-Auger 전자라고 부른다. Auger 전자 분광법에서는 스펙트럼을 짧은 시간 안에 얻으므로 시료 표면에 있는 원소의 농도를 얼른 알아내는 데에 대단히 편리하다.
2) AES의 구조
(1) Electron Gun
Auger 전자 분광법에서 이용하는 Electron beam은
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분광법(ICP-AES)란?
? ICP의 원리 : ICP는 ‘inductively coupled plasma(고주파 유도 결합 플라즈마)’의 약어이다. 중성원자에 열에너지가 주어지면 기저상태(Ground state)에 있는 전자는 높은 준위로 전이하여 들뜬상태(Excite state)가 된다. 특히 들뜨기 원 (
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법의 일종
• 원래 ICP의 의미 → 원자방출분광법에서 사용되는 광원중의
하나
• ICP-AES(Atomic Emission Specrtometry)라 함
.
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• 플라즈마(Plasma)의 의미 → 많은 양의 양이온과 전자
를 포함하는 고온의 전도성 기체를
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