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개질 처리된 기판(2), 개질 처리되지 않은 기판을 스퍼 터링 장치 안에 장착한다.
②1.2 X 10-5torr로 초기진공을 잡아준다.
③Ar 가스 주입 후 5.0 X 10-3tor로 증착 압력을 조절해 준다.
④증착 : presputtering 5분⇒ Cr or Ni증착ㅡ45초(약 15nm=150Å증착된다.
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처리기
5. 전원 방식에 따른 System 장ㆍ단점
전원방식
장 점
단 점
비 고
Inverter
방식
1.System이 간단하며 크기가
작고 가격이 싸다
1.출력 Ripple이 커서
Uniform한 개질이 어렵다
(개질 후 제품표면
에 Corona wave가 형성됨)
2.출력 Power 미세조정이
어
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)
☞ 2015년1월 1일부터 본격 시행
온실가스 배출권 거래제도
Emission Trading System(ETS)
: 온실가스의 배출 권리를 사고 팔 수 있도록 한 제도 주제선정 배경
CO₂ 처리기술
연료전지의 원리
내부개질 SOFC
향후전망 및 문제점
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개질공정 그리고 여타 정밀화학공정까지 거의 전 화학공정으로부터 산출된다. 그러나 우리나라의 경우 적극적 처리 개념의 이들 폐기물의 유용 화를 위한 연구는 매우 부족한데, 무엇 보다 이들 물질의 산출, 유통 그리고 처리 현황의 종합적
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처리에 주로 사용된다. 이러한 방법은 열가소성 플라스틱을 사용하는 방법보다 복잡하여 강력한 고형화를 필요로 할 때 사용된다. 저준위의 방사성 폐기물 처리에 적절한 것으로 보고되고 있다.
바. 친유기 개질 점토에 의한 고형화
친유기
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