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미세전자 공학 – STEPHEN A. CAMPBELL 원저
화학기상증착법(CVD)
13.1 실리콘의 증착을 위한 기본적인 CVD 시스템( A Simple CVD System for the deposition of Silicon)
13.2 화학적 평형과 질량 운동의 법칙(Chemical Equilibrium and the Law of Mass Action)
13.3 가스 흐름
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전자 / 통신 분야 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 3
1.4.2 환경 / 에너지 분야 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 3
1.4.3 생명공학 분야 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 3
2. 나노 분말과 나노재료 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 3
2.1. 나노 분말 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍ
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과학실험기구연구소도 성능 높은 주사식 전자현미경을 연구제작했다. 금속을 비롯한 다양한 재료의 구조, 생김새, 물리 화학적전자기적 특성을 입체적으로 관찰분석할 수 있는 이 현미경은 집적회로 제작, 신재료 개발과 생물공학, 초미세가
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전자공학회,
전자공학회지 제32권 제8호, 2005. 8, pp. 15 ~ 22 (8pages)
라. Nano Bio Technology 나노와 바이오의 퓨전시대, 강석기 저, 동아사이언스,
과학동아 2004년 11월호(통권 제227호), 2004. 11, pp. 43 ~ 46 (4pages)
마. 나노바이오 기술, 이일형 저, 대한전
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과학기술적 요소
1.4 나노기술의 분류
1.4.1 전자 / 통신 분야
1.4.2 환경 / 에너지 분야
1.4.3 생명공학 분야
2. 나노 분말과 나노재료
2.1. 나노 분말
2.1.1 나노 분말이란?
2.1.2 나노 분말의 특성
2.1.3 나노 분말의 용도
2.1.4 합성
2.2 나
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