와이온(주)

고급 검색 X

와는 다르다)가 발생하여, 저항율을 떨어뜨린다고 한다. 활성화어닐에 의한 균일성변화 앞에서 서술했듯이, 전기특성의 균일성은, 이온주입전의 단계까지 유지되고 있다면 좋은 것이 아니라, 이온주입후의 활성화어닐을 포함한 모든 열공