이동식 열연폭계(RIST-PW1) 개발

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라 HP Laser Interferometer (분해능 0.01 ?m)와의 비교로서 Forward / Backward 방향의 데이타를 측정하여 평균하여 가능한 오차 변동을 적게 하였다. 위와 같이 피측정물에 대하여 Laser 센서의 오차를 보정해 주면 기 개발된 이동식 열연폭계를 열연 가열로

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등록일 2002.03.07
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