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closed tube)으로 하는 방법이 있다. 또한 낮은 온도에서의 증착법(CVD), 전해액을 사용하여 성장하는 방법(anodization) 등이 있다.
산화막성장은 전기로에서 크게 3가지 단계로 분류된다. 첫째, 웨이퍼를 석영관으로 넣는 과정, 둘째, 산화막성장과정
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타원 편광된 레이저광의 자체 회전, 한국물리학회
- 오충훈 외 1명(2006), 레이저광과 생물학적 작용 기전, 대한광역학학회
- 전자과학사 편집부(2004), 레이저광의 성질과 기초, 전자과학사
- 조동현(2004), 레이저광을 이용한 양자미세구조 연구,
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