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피라니 게이지
피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다. 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한쪽 끝을 진
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게이지를 부착한 압력계를 사용하였다.
브로돈관 압력계와 압력센서가 설치된 블록의 왼쪽에 레귤레이터와 수동 밸브가 설치되어있다.
① 레귤레이터
펌프로부터 들어오는 공기를 이용하여 압력을 조절하는 장치이다. 그 원리는 손잡이로
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