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충돌 전 입사구의 속력=cm/s
충돌 전 운동량=mv=
② (r=거리)
충돌 후 입사구의 x성분 속력=0.28cm/s
y성분 속력=3.40cm/s
충돌 후 표적구의 x성분 속력=1.22cm/s
y성분 속력=2.46cm/s
충돌 후 x성분 운동량의 합 = m(0.28+1.22)=37.5
③ x축 오차=37.5-375.25=-337.75
x축
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입자, 고 분자 물질의 가교흡착, 커다란 입자, 기타Colloid 입자의 경우 입자의 브라운 운 동과 표면 전위의 상효관계에서 어디까지나 전위의 저하에 의한 입자충돌의 방해 인자 제거가필요한 것 많지 않은 입자의 경우는 가교흡착에 의한 입자
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입자가 레일리 기준을 만족하는 여부를 논의한다.
√ 다시 한 번 레일리 공식을 살펴보면, 로 정의된다. 이 식에서의 조절할 수 있는 변수는 크게 세 가지이다. 하나는 충돌 입자의 수(농도), 두 번째는 파장, 그리고 마지막으로 각도(). 이번 실
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가진 상태에서 흡착되어 박막을 형성하게 된다.
이렇게 큰 에너지를 가진 충돌입자는 표면이동이 비교적 용이해 매 우 치밀하고 물성이 우수한 박막을 형성하게 된다.
④스퍼터링
플라즈마를 설명할 때, 음극전압강하로 인해 양이온은 전기
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에 질량인 입자가 속도으로 충돌하면 이 두 입자는 충돌 후 [그림 10-1]과 같이 운동한다.
이 충돌과정에서 외력의 합 은 0이므로 선운동량은 보존된다. 즉, 이므로 이다.
따라서
이다. 식 1을 입사방향을 x축, 이와 직각방향을 y축으로 하는 좌표
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