4물질

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있다. 예를 들면, 플라스틱에 세라믹을 증착 할 수도 있다는 것이다. 더불어 대기압 방전이므로 진공방전에 비해 저렴하고, 공간제약을 받지 않으므로 적용가능분여가 훨씬 넓어진다. 대기압 저온 플라즈마는 반도체 공정 중 기판소독과 PCB