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Probe Microscopy)의 탐침(tip)으로 사용되기에 매우 적절한 일차원 구조를 가진다. AFM(Atomic Force Microscopy:원자간력 현미경)은 나노스케일의 대상을 직접 관찰할 수 있는 장비로 마이크로 캔틸레버 팁을 시료 표면에 접근시켜 나타나는 캔틸레버의
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Force Microscope)
5. FMM(Force Modulation Microscope)
6. PDM(Phase Detection Microscope)
7. MFM(Magnetic Force Microscope)
8. EFM(Electrostatic Force Microscope)
9. SCM(Scanning Capacitance Microscope)
10. Nanolithography
11. EC-SPM(Electrochemistry Scanning Probe Microsc
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반발력과 인력
전기적인 특성과 무관하므로 도체, 반도체 및 부도체등 모든 시료의 분석에 범용적으로 적용
1.SPM 이란?
2.SPM의 원리
STM(Scanning Tunneling Microscope)
AFM(Atomic Force Microscope)
3.SPM…(others)
4.Application of SPM
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Atomic Force Microscope). 그후 시료탐침간의 다양한 상호작용 (마찰력, 전위, 근접장광, 자기력등)을 검출하여 표면구조를 관찰하는 FFM, SMM, SNOAM, MFM...등이 개발되었다.
이들을 총칭하여 주사형 Probe현미경 (SPM)이라고 한다.
AFM은 그중에서 가장 널
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분석
반도체 Process 및 분석
Cell 내 Overlay Confirm 용 목 차
1. 서론
2. STM (Scanning Tunneling Microscope)
3. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometer)
4. AEM (Auger Electron Microscope)
5. AFM (Atomic Force Microscope)
6. NSOM (Near-field Scanning Optical Microscope)
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방법
3.1 합금설계
3.2 Polishing
3.3 인장 시험 시편 제작
3.4 EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)
3.5 인장 시험
4. 실험 및 고찰
4.1 EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)를 통한 미세구조 관찰
4.2 인장 시험을 통한 최대 인장강도 및 ductility 비교
5. 참고문헌
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