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in.naver.com/detail/detail.php?d1id=11&dir_id=110204&docid=2692324&qb=u+q80iCw4cfVsKK1tQ==&enc=euc-kr§ion=kin&rank=4&sort=0&spq=0&pid=fwqErloi5Tlssc5fcthsss--176448&sid=SwqKZCxaCksAAA7Pwzg
http://mpekorea.hubweb.net/hboard/hub/hub.php?req=brd_view&bcode=7&pg=4&uid=1
http://ko.wikipedia.org/wiki/
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BBr3
5.2.2.2 반도체 화학약품
표 5에 반도체 공정중 사용되는 약품들을 열거해 놓았다.
공정
용도
사용약품
세정
유기물 일반제거
레지스트잔사제거
이온장 오염물 제거
원자장 이온물 제거
아세톤, 이소프로필알폴, 메탄올, 크실렌 트리클로로
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