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전문지식 1건

CVD에 관해서
CVD에 비해서 좋지 않다. 또한 장치가 복잡하고 가격이 비싸 대량 생산이 어려운 단점이 있다. 6. Photo CVD Gas phase나 표면에 흡착된 물질을 분해하기 위한 에너지원으로 광원을 이용하는 CVD 법이다. 광원의 에너지를 반응 기체의 활성화를 이용
CVD thermal CVD, PE CVD ECR CVD, CVD에 관해서,
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  • 등록일 2005.04.10
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