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1. Pre-wetted Wiper를 이용하여 Filling 작업 진행할 Drum 외부를 Cleaning한다.
2. Drum을 Clean Room 내부로 이동한다. 준비작업, 본작업, 마무리작업
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유기용제
① 폐유기용제의 발생원인
② 폐유기용제 발생 방지 방안
(4) 폐합성수지
① 폐합성수지 발생원인
② 폐합성수지 발생 방지 방안
(5) 부식성 폐기물
① 부식성 폐기물 발생원인
② 부식성 폐기물 발생 방지 방안
(6) 폐페인
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, 박수영 外, 시그마프레스, 1995
Encyclopedia of Chemical Technology Vol 10, kirk-Othmer, John Wiley& Sons, 1953
Chemical Industries, R.N.shreve, McGraw-Hill, 1972 1. 서론
2. 실험이론
3. 실험장치 및 시약조사
4. 실험방법
5. 결과예측
6. 참고문헌
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유기용제로 구분되어 관리되고 있다. 다만 차이가 있다면 일본에서는 제조가 금지된 벤지딘염산염이 제조허가물질에 포함되어 있으며, 특정화학물질 2류로 되어있는 석면이 제조허가대상물질(특정화학물질 1류)로 되어 있는 것만이 다르다.
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Chemical의 사용량을 최소화하는 건식 세정공정으로 바뀔 것으로 전망된다. 초임계를 이용한 CO2세정공정이나 Laser를 이용한 세정공정 등이 Fab에 적용될 경우 많은 양의 폐수와 폐chemical의 발생을 줄일 수 있다. 기존의 Photoresist(PR)를 이용한 Lithog
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