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electronic - 이형수
TFT-LCD Reaserch Center, KyungHee Univ. - 장 진 LTPS 란?
LTPS 의 제조법
ELA Process & 특징
Poly-Si TFT-LCD의 응용
HTPS, LTPS 의 비교 및 특성
LTPS Process comparison
LTPS 관련 기기
LTPS 장점
LTPS의 기술 전망
Application & Product
※ References ※
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ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥6
(1) 결정화 순서
(2) 공 정
(2-1) 전반적 공정
(2-2) ELA 공정
(2-3) SLS 공정
(2-4) ELA & SLS 공정 비교
(2-5) CGS 공정
(2-6) MIC & MILC
(3) 저온 폴리실리콘
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