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Entrapment 펌프
3.1. 이온 펌프(Ion pump)
그림8. Ion pump의 작동 원리
이름에서 짐작할 수 있듯이 기체를 이온화하여 표면과의 반응성을 높여 주어진 공간으로부터 기체분자를 제거하는 방법으로 그림 8에 그 원리를 나타내었다.
Cathode로부터 발생된
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Entrapment 펌프
3.1. 이온 펌프(Ion pump)
그림8. Ion pump의 작동 원리
이름에서 짐작할 수 있듯이 기체를 이온화하여 표면과의 반응성을 높여 주어진 공간으로부터 기체분자를 제거하는 방법으로 그림 8에 그 원리를 나타내었다.
Cathode로부터 발생된
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펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump
3. 그밖의 펌프
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Entrapment 펌프
3.1. 이온 펌프(Ion pump)
그림8. Ion pump의 작동 원리
이름에서 짐작할 수 있듯이 기체를 이온화하여 표면과의 반응성을 높여 주어진 공간으로부터 기체분자를 제거하는 방법으로 그림 8에 그 원리를 나타내었다.
Cathode로부터 발생된
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