MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)

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Electro-Mechanical-System)그 자체 로부터 알 수 있듯이 수 100micron이하의 크기를 갖고(micro), 전기, 전자적인 구동특성을 가지며(electro), 기계적 움직임 또는 성능을 갖는 시스템이라 할 수 있다. 실제로 MEMS의 개념은 기계, 전기, 광학, 열, magnetic, 화학

MEMS mems, Mems Micro-Electro-Mechanical-System, MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System),

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등록일 2006.04.04
파일종류 한글(hwp)
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