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pump 종류, 특징
1. 정변위펌프(positive-displacement pump, 용적식 펌프)
- 왕복 피스턴이나 회전 요소에 의해 방에 액체를 채웠다가 비웠다가 함으로서 액체에 직접 압력
1.1 왕복펌프(reciprocating pimp)
- 방이 고정 실린더인데, 그 안에 피스턴이나 플런
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Harland G. Tompkins, \'Pumps Used in Vacuum Technology\', American Vacuum Society(AVS), 1991
3. Donald M. Mattox, \'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing\', Noyes Publication, 1998 1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌프
3. Entrapment 펌프
4. 그밖의 펌프
참고문헌
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펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump
3. 그밖의 펌프
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펌프의 형식
· 펌프에는 작동하는 펌프의 구조, 양정, 유량 및 취급하는 액체의 종류에 따라서 많은 형식이 있다.
· 펌프를 작동원리에 따라 분류하면 터보형(turbo type)과 용적형(positive displacement type), 특수형으로 나눌 수 있다. 01. PUMP
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, 1999
2. Harland G. Tompkins, \'Pumps Used in Vacuum Technology\', American Vacuum Society(AVS), 1991
3. Donald M. Mattox, \'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing\', Noyes Publication, 1998 1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌프
3. Entrapment 펌프
4. 그밖의 펌프
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