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SiO2
산소에 습기가 섞여 있는 경우로, 건식산화보다 oxidation rate가 더 빠르다.
0.5㎛정도의 두꺼운 oxide 층을 제공한다.
마지막으로 SiO2의 합성법을 정리하여 표로 나타내었다. SiO2 박막합성법
산화공정(Oxidation)
산화막 형성온도 영역
산
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합성 ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 4
2.2 나노 재료ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 5
2.2.1 나노재료란? ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 5
2.2.2 나노재료의 특징ㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍㆍ 5
2.2.3 나노재료의 응용ㆍㆍㆍ
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합성
2.2 나노 재료
2.2.1 나노재료란?
2.2.2 나노재료의 특징
2.2.3 나노재료의 응용
2.2.4 자연, 생활속의
3. Nano Silver
3.1 은나노란?
3.2 은나노의 특징
3.3 은나노 제조공정
3.4 은나노의 향균원리 및 기능
4. 탄소나노튜브
4.1 탄소나노
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세라믹스
4. 바이오 세라믹스
제 4 장
특성을 낳는 세라믹스의 구조
1. 원자와 이온의 충전상태
2. 특이한 성질의 원인
제 5 장
세라믹스를 만든다.
1. 소결체
2. 유리
3. 가루
4. 단결정
5. 다공질체
6. 박막
7. 섬유
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세라믹스
4. 바이오 세라믹스
제 4 장
특성을 낳는 세라믹스의 구조
1. 원자와 이온의 충전상태
2. 특이한 성질의 원인
제 5 장
세라믹스를 만든다
1. 소결체
2. 유리
3. 가루
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5. 다공질체
6. 박막
7. 섬유
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