박막 두께 측정

본문내용

4
0.5
0.45
303.34
5
0.45
0.5
245.73
6
0.5
0.55
248.21
7
0.4
0.45
242.70
8
0.5
0.5
273.04
9
0.45
0.5
245.73
10
0.45
0.55
223.39
평균값
0.43
0.49
262.86
위 네 번의 실험 결과 세 번째 실험이 가장 오차가 적은 범위 내에서 박막의 두께가 나왔다.
그리고, 네 가지 실험으로 평균값으로 박막의 두께를 예측하면, 264.71nm가 나온다.
6. 검토 및 토의
이번 실험은 진공 증착법에 의해 제작된 박막의 두께를 MBI법을 이용하여 측정하는 실험이다. 간섭무늬가 가장 선명하게 나타날 때를 측정해야 하는데, 간섭무늬의 간격이 좁고, 간섭무늬의 간격이 뚜렷하지 않고, 또 선명할 때를 찾을 때 눈으로 보는 어림이 필요하기 때문에 그 과정에서 이 실험의 오차들이 젤 많이 발생한 것 같다. 이런 오차를 둘이기 위해서는 최대한 많은 횟수의 실험을 해 야만이 그 오차의 양을 줄일 수 있다고 본다. 또, 두 광학 평면 사이의 각도를 최대한 작게 하여 간섭무늬의 간격을 넓히고, 간섭무늬를 밝게 하려면, 박막의 알맞은 반사율을 선택하여야 하지만, 정확히 그것을 조절 할 수 있는 요소가 없어, 실험의 오차를 줄이는데 한계가 있었다. 오차는 가지고 있지만 간섭을 이해하면서 박막의 두께를 측정해 볼 수 있는 좋은 기회였다.
그리고 박막의 두께를 측정하는 몇 가지 더 다른 예를 찾아보았다.
1. 형상막 두께 측정법
이 방법에 의해서 측정되는 막 두께는 표면만의 형상에 의해 정하는 것이 확실한데, 측정으로 관측되는 표면이 진짜의 평균 면에 대응 하는가 어딘가를 알 수 없는 경우가 많기 때문에 측정법에 의해서 얻어진 정보를 이해할 필요가 있다.
2. 질량막 두께 측정법
질량막 두께의 측정에는 중력 등을 이용하여 질량을 측정하는 방법과 원자의 수에 대응하는 양을 측정하는 방법의 2종류로 분류한다.
3. 물성막 두께 측정법
전기저항이나 광 흡수 등 물성의 많은 항목들이 물질의 양에 관계한다.
박막에 대해서 말하면, 두께가 변하면 물성들이 변화한다. 이 변화를 이용하면 박막이 측정될 수 있다. 두께에 따라서 변하는 물성이라도 박막측정에 이용될 수 있는데, 감도의 높음과 측정의 쉬움 등에서 막 두께 측정에는 전기적 물성과 광학적 물성이 가장 넓게 이용되고 있다. 전기적 물성을 이용할 때에는 도전체와 절연체를 나누어 고려할 필요가 있다.

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