목차
1. MEMS 의 정의
2. MEMS 의 장점
3. MEMS 의 역사와 정의의 변화
4. MEMS 실용화의 어려운 점
5. MEMS 제조 공정 기술
6. 재료 공학으로 접근
7. MEMS 의 사용과 응용 분야
8. MEMS 기술 시장의 전망
2. MEMS 의 장점
3. MEMS 의 역사와 정의의 변화
4. MEMS 실용화의 어려운 점
5. MEMS 제조 공정 기술
6. 재료 공학으로 접근
7. MEMS 의 사용과 응용 분야
8. MEMS 기술 시장의 전망
본문내용
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술 사업으로 진행되고 있는 기술 개발 과제명은 초소형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.
해당자료는 한글2002나 워디안 자료로 한글97에서는 확인하실 수 없으십니다.
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