SEM의 원리와 구성

소개글

SEM의 원리와 구성에 대한 보고서 자료입니다.

목차

(1) Gun+filament
1)열전자 방사형 전자총

2)전계 방사형 전자총 (FE E.Gun)
(2) Lens
(3) Detector
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
Referece

본문내용

EM에서는 시료의 특정한 결정면을 통하여 전자 채널링이라는 형태의 회절반응을 한다. 즉, 전자는 결정면에 따라서 채널링을 일으키고, 이 정도는 결정면의 원자 밀집도와 간격 등에 의해서 정해진다. 이 신호를 이용하면 결정 방위와 대칭성, 단위격자 등을 분석할 수 있다.
Referece
주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사 3~28P
투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사 10~20P
Physical metallurgy principles/Robert E. Reed-Hill,Reza Abbaschan/Cengoge learning
http://gongdong.andong.ac.kr/down/em/2008-1/8.ppt
http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
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키워드

SEM,   LaB6,   전자총,   텅스텐 헤어핀,   LaB6필라멘트,   Lens,   Detector,   X-ray