SEM의 구조

본문내용

는 주사신호발생회로(Scan Generator)와 배율조정회로 렌즈전류조정회로 등으로 구별되며 이는 상호 연관되어 있다. 주사신호발생회로에서 만들어진 주사신호는 경통내의 주사코일과 관찰CRT 및 촬영 CRT등에 보내어져 동시주사가 가능하게 한다. 아래에 주사 방법을 그림으로 보인다.
다음 영상신호 처리회로는 시편에서 발생된 이차전자를 컬랙터의 고압으로 집속하여 검출기인 신칠레이터 팁 (Scintillator tip)으로 보내어 광으로 변환하고 광증배관에서 증폭하여 전기신호 증폭기로 보내어 진다. 이 신호는 관찰 CRT 및 촬영 CRT의 그리드(Grid)신호가 되어 화면을 주사함에 따라 영상을 만들게 된다. 이때 영상신호의 직류전압 레벨과 증폭도를 변화시키므로써 상의 밝기 및 명암을 조절할 수 있다.

키워드

SEM,   전자현미경,   현자현미경구조