AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성

소개글

AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성에 대한 보고서 자료입니다.

목차

AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분석(Depth Profiling)
1)기기적 인자
2)Sample의 특성에 따른 요인
(4) 충전효과(charging effect)
1. 충전효과의 제거방법은
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점

본문내용

intensity의 불균일성
시간에 따른 이온빔 intensity의 변화
2)Sample의 특성에 따른 요인
시료 표면의 roughness
시료 결정의 방향 및 결함
유전 물질의 영향
성분마다 다른 sputtering yield
Atomic mixing
시료 원자들의 확산이나 분리, 결합
(4) 충전효과(charging effect)
유전물질의 분석시 전자 또는 일차이온과 같은 하전되며, 입자의 유입과 이차이온 및 이차전자의 발생으로 인해 시료표면에 전하가 축적됨으로써 발생하는 현상이다.
1. 충전효과의 제거방법은
유전체의 두께가 얇을 경우는 입사 전자선의 에너지를 높임
유전체의 두께가 두꺼울 경우에는 입사 전자선의 에너지를 낮추고 시료 표면과 이루는 각도를 작게함.
시료표면의 전기전도도를 향상시키는 전처리 : 표면 gold coating, silver paste로 처리
(5) 주요 적용 범위
극 표면(수 A)에 대한 조성 분석.
박막의 깊이 방향 원소 분포 분석(depth profiling)
미소(~1,000 A f)부위 조성 분석(point analysis)
2차원적인 원소 분포도 측정(image mapping)
line scanning
(6) 시료 준비
수mm X수mm크기의 얇은 조각으로 표면 polishing된 것이 좋으며, 유전체 시료는 charging 문제로 표면에 gold coating을 하기도 함.
(7) 장점과 단점
표면선택성 우수(~25A)
평면분해능이 우수
깊이에 따른 조성 및 결합상태 분석
검출한계(0.1at.%)이하 농도 분석이 어려움
Bulk 절연체 분석이 어려움

키워드

AES,   SAM,   정성분석,   정량분석,   Auger Electron Spectroscopy,   Auger electron,   Depth Profiling,   charging effect