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O-Ring의 NMP에 대한 용출 Test 결과 Na 및 Zn의 시간 경과에 따른 선형증가 경향이 확인됨 1. O-Ring의 NMP Dipping Test 결과
2. 5일 경과 後 외관 확인 사항
3. Dipping Test 방법
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Test는 모두 1,000 zone의 Clean Room에서 진행하므로 Lid를 Open하여도 환경적인 영향은 없음 1. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 결과
2. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 後 Image 비교 사항
3. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 방법
4. O-Ring (Pe
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NMP를 5%정도 채워 흔들어 세정하는 작업 2회 後 흐르는 NMP에 주입구 및 Lid 모두 Cleaning 작업 완료한 이후에 Sampling 시작함 1. Sampling 조건에 따른 Particle 개수 검증 Test
2. Sampling 조건 비교 사항 및 Bottle Cleaning 관련
* 참고 자료) O-Ring Test 진행
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