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EUV - Photolithography의 종류 및 공정 단계와 그와 관련된 기술들의 특성에 대한...
방법, spacer를 이용한 방법 이 있다. 목 차 1. 주제를 선정한 동기 2. 현 반도체 생산라인 3. 최신 기술 동향 4. ITRS - Roadmap 5. 기술관련성 6. Lithography 종류 및공정 단계 7. Extreme ultraviolet lithography 8. 현 EUV의 문제점
EUV Photolithography
,
리소그래피 ITRS
,
EUV - Photolithography의 종류 및 공정 단계와 그와 관련된 기술들의 특성에 대한 조사
,
페이지
18페이지
가격
1,500원
등록일
2008.05.26
파일종류
피피티(ppt)
참고문헌
없음
최근 2주 판매 이력
없음