|
마이크로회로 수리
마이크로 기계
정밀 천공
반도체 도핑, 열처리
박막증착
리소그래피(Lithography)
패턴발생기, 웨이퍼 스태퍼, 마스크 설정
마킹
세라믹, 유리, 플라스틱, 금속
의학
주사(走査) 레이저 검안경(자료제공 : Rodenstock사)
안과,
|
|
|
1.1 다결정 실리콘으로 만들어진 마이크로 톱니바퀴와 집게
1.2 정전 마이크로 모터
1.3 머리빗 모양의 정전 진동자
1.4 움직임의 크기나 방향을 변화시키는 마이크로 전달기
1.5 이방성 에칭에 의한 마이크로 구조물
1.6 X선 사진 식각을 이용
|
|
|
micro meter인 구멍(노즐)이 필요하다. 그리고 노즐마다 히터나 압전소자가 설치돼야 한다. 이 같은 시스템을 제조하기 위해서는 MEMS 기술이 필요한 것이다. 잉크젯 프린트 헤드는 MEMS가 응용된 가장 성공적인 사례로 뽑히고 있다. MEMS 기술은 더
|
|
|
마이크로머시닝 기술에 의해 제조된 집적화 회로부는 한 변이 2~3mm정도 이며, 패키징된 후에는 실제 부품은 8~9mm 내에 구현이 가능함으로 소형 경량화의 장점을 갖고 있다. 자동차 산업에서 센서가 갖는 재현성과 가격은 가장 큰 문제이며, 반
|
|
|
Microscopy, STM)이 최초의 원자현미경이다. 이어 등장한 것이 원자힘현미경(Atomic Force Microscopy, AFM)으로, 현재 가장 널리 쓰이는 원자현미경이다. STM의 텅스텐 바늘 대신 마이크로머시닝으로 제조된 캔틸레버(cantilever)로 불리는 작은 막대를 쓴다.
|
|
메뉴펼치기
