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식각 속도를 나타내는 경우 이러한 방향성을 갖는 식각
●포토리소그래피공정
포토레지스트(photoresist) 패턴을 마스크로 하여 포토레지스트로 덮여 있지 않은 부분을 선택적으로 제거 1. 기술소개
-이방성
-등방성
1.2 습식 에칭
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전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래의 한 종류이며, 자외선을 광
원으로 이용하는 리소그래피 전통적인 리소그래피
전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
식각의 의미
식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식각
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식각
→ 이온주입 → 화학기상증착 → 금속배선 → 웨이퍼 자동 선별
→ 웨이퍼 절단 → 칩 집착 → 금속 연결 → 성형 → 최종검사
습식 식각(Wet Etching)
식각 용액(액체)에 웨이퍼를 넣어 액체-고체
화학반응에 의해 식각이 이루
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식각 반응에 활성화 에너지를 공급하여 특정
방향에 우세하게 식각을 일으키고 식각의 비등방성
도에 기여하는데 이는 습식식각에 비하여 선택비를 (selectivity) 떨어뜨리는 요인이 된다. 1.건식 식각 공정
2.건식 식각 개요
3.플
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SiO2 식각
식각 용액은 주로 HF과 NH4F의 혼합액을 사용
화학 반응식은 SiO2 + 4HF ↔ SiF4 + 2H2O
종말점 확인은 산화막의 친수성과 실리콘의 척수성
을 이용하여 현미경으로 물방울 형성을 확인하면 알
수 있다.
Si3N4 식각
식각 용액은 H3P
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