타원해석기

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osed tube)으로 하는 방법이 있다. 또한 낮은 온도에서의 증착법(CVD), 전해액을 사용하여 성장하는 방법(anodization) 등이 있다. 산화막성장은 전기로에서 크게 3가지 단계로 분류된다. 첫째, 웨이퍼를 석영관으로 넣는 과정, 둘째, 산화막성장과정,