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펌프의 최고 효율점에서의 수치에 의해 계산된 값으로 회전차의 상사성 또는 펌프특성 및 형식 등을 결정할 때 이용되는 값.
비속도가 같은 회전차는 모두 상사형이다.
따라서 비속도는 회전차의 형상을 나타내는 척도가 되고, 펌프의 성능
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여 이전의 0.003 Torr 압력을 회복했습니다.
마지막으로, 장비 내 불순물 문제를 해결했습니다. 화학 반응을 위해 유입되는 Ar 가스의 출구에 쌓인 전구체가 펌프 성능을 저하시키고 있었습니다. 톨루엔과 아세톤을 사용하여 내부 불순물을 제거
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펌프 분해정비였습니다. 펌프를 분해하여 베어링, 임펠러, 메커니컬 씰, 벨트 등 부품을 교체하고 펌프 축 정렬을 하면서 성능을 유지하고 예방정비를 하였습니다. 1. 기존 방식이나 현상에 대해 문제의식을 갖고 전략적으로 해결한 경험
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펌프가 급히 정지되는 경우
◆맥동현상: 주기적으로 크게 흔들리고 계속적으로 진동과 소음 발생
◆비상경보설비: 사람이 화재를 발견하고 건물 내에 있는 사람에게 알리는 설비로 수동으로만 작동
◆단독경보형감지기: 열 또는 연기, 불꽃
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