개선안
흡입부 필터확장 및 Fan Control로 일정한 압력 유지
배기부의 배기 Control로 일정한 압력유지
요점
Cleaning부의 일정한 압력유지로 외부 공기 유입 차단 및 발생된 파티클의 배기가 원활하게 개선 CMP WAPER CLEANER 개선제안
목적
개선
CMP용 로타리 조인트의 수리의뢰가 들어오면
max본사 공장으로 보내진 후 로타리 조인트를 분해합니다.
내부 CLEANING을 한후 Rotor 및 Housing의 상태를 확인하고
내부 Seal, spring, O-ring등을 모든 Wear Parts 를 교환합니다.
Cleaning 및 Repair가 완료