기체방전예비

소개글

기체방전예비에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 제목

2. 날짜

3. 목적

4. 실험 기본 이론

5. 실험 장치 및 방법

6. 예비고찰

본문내용

. 이러한 자기적 특성을 이용하면 전압을 상승시키지 않고 높은 밀도의 플라즈마를 생성시킬 수 있다.
DC에서의 플라즈마 / RF에서의 플라즈마
- DC를 사용할 때 Cathode가 전기를 통하지 못하는 부도체일 경우 Cathode에서 이온에게 전자를 제공하지 못하기 때문에 이온이 Cathode 표면에 이온이 쌓이게 된다. 이온이 많이 쌓이면 Cathode 면은 양전위를 띠게 되어 이온은 더 이상 오지 못하게 되고, 플라즈마 내부의 전기적 평형 상태가 깨지게 되어 수 초 내에 플라즈마가 없어지게 된다.
이러한 현상 때문에 부도체를 sputtering, etching 등을 할 때는 교류전원을 사용한다. 교류 전원을 사용하면 Electrode에 부착된 부도체 표면에 주기적으로 양전위를 가해주게 되어 표면에 쌓이는 이온을 떨어뜨리게 된다. 요즘 DC를 이용하여 SiO2 등의 부도체를 Sputtering하는데 이것은 주기적으로 Target에 양전위를 공급해줌으로써 가능해졌다.
Ⅴ. 실험 장치 및 실험 방법
1. 실험 방법
(1) 모터를 돌려서 기압을 뺀다.
(2) 압력이 충분히 작아진 후 밸브를 잠근다.
(3) 양극에 의 전압을 걸어 준다.
(4) 서서히 기압을 오려 준다.
(5) 방전 현상을 관찰한다.
2. 실험 장치
Ⅵ. 예비 고찰
공기가 방전관안으로 천천히 들어가면 압력이 서서히 증가 할 것이다. 그러면 전압이 떨어지면서 양극에서 서서히 빛을 발할 것이다. 양극 쪽에서는 음극에서 전자가 뛰어 나오면 이 전자가 가속이 되면서 운동에너지를 가지고 가다가 공기 분자랑 충돌하면서 여기된 에너지 상태에서 바닥상태로 떨어진다. 그러면서 빛을 발한다. 이 모양이 알 모양으로 일정한 간격으로 나올 것이다. 이 알들이 많아지면서 나중에는 압력이 증가하면서 즉 공기 분자가 많아지면서 충돌은 자주 일어나지만 많은 전자를 가속시켜주는데 에너지가 적기 때문에 빛을 세기 줄어 들 것이다.
아크 방전은 나타나질 않을 것이다. 그 이유는 압력은 도달하지만 전압이 아크 방전이 일어날 정도로는 되질 않기 때문이다. 고전압이므로 주의해야 한다.
◈ 참고 문헌◈
김기식 외, 대학 물리학』,인하대학교 출판부, 2001.
David Halliday, Robert Resnick, 『물리학 총론』, 1987, 김종오 역
Arthur Beiser,현대 물리학,교보 문고,1998.
http://www.dees.co.kr/Cfiles/C315.htm

키워드

기체,   방전,   기체방전,   플라즈마,   글로방전,   아크방전