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방전의 이용인데, 전기기기에 대해서는 일반적으로 바람직하지 못하고, 무선통신 등에서는 잡음원의 하나이다. 1. 코로나 방전(corona discharge)
2. 진공방전 [vacuum discharge]
① 아크방전 [ arc discharge ]
② 글로방전 [glow discharge]
③ 불꽃방
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곳의 점 광이 공중이 비쳐 보일 때, 구름에 가려 빛의 반사만 보이고 구름 표면에 고인 전기가 방전할 경우 비치기도 한다.
11. 글로 방전
-극히 낮은 압력인 0.5 ㎜Hg 정도에서 기체를 수 ㎝ 채운 방전관에 전극을 놓고 높은 전압을 가하면 전류
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방전 현상을 관찰한다.
2. 실험 장치
Ⅵ. 예비 고찰
공기가 방전관안으로 천천히 들어가면 압력이 서서히 증가 할 것이다. 그러면 전압이 떨어지면서 양극에서 서서히 빛을 발할 것이다. 양극 쪽에서는 음극에서 전자가 뛰어 나오면 이 전자가
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산하는 방법을 사용한다. 양이온의 수가 많을수록 이온전류가 증가한다. 보통 torr에서 torr 정도에서 사용을 하고 있다.
※ Magnetron Sputtering에 대해 알아보자.
글로방전 스퍼터링 쳄버의 Ar 압력은 방전을 유지하기 위해서 ~torr로 높고, 평균 자
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rect=Log&logNo=10096589628
-http://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%8A%A4%ED%8D%BC%ED%84%B0
-http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=starhope61&logNo=120143912904
-글로방전 [─放電, glow discharge ] | 네이버 백과사전 1. CVD (Chemical Vapor Deposition)
2. Sputtering
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