리소그래피

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리소그래피에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

투영시키는 광학계가 저대역 필터(low-pass filter)로 작용하기 때문에 웨이퍼에 맺히는 상은 원래의 모양에서 왜곡된 형태가 나타난다. 이러한 방법은 반도체 칩에 집적된 소자 및 연결선의 최소선 폭이 작아짐에 따라 웨이퍼에 형성되는 패턴의 왜곡현상을 피하기 힘들게 되었다. 이런 이유 때문에 현재 위에 두 가지 종류가 각광받고 있는 것 같다.

키워드

리소그래피,   EUV 리소 그래피,   E-Beam 리소그래피 (전자빔 리소그래피)