[공학]노광공정 및 식각공정

목차

전통적인 리소그래피

전통적인 리소그래피 – 트랜지스터

식각의 의미

식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식각

본문내용

1. 리소그래피(Lithography)의 정의
노광 기술(Lithography 기술)은 마스크(mask)상에 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 구현하는 일종의 사진기술로서 마스크 형상을 웨이퍼에 전달하는 매체로 빔, 전자, 이온 등을 사용한다.
기판인 웨이퍼 위에 원하는 패턴을 구현하는 기술
2. 전통적인 리소그래피의 정의
리소그래피의 분류 : 광학 리소그래피, 비광학 리소그래피
광학 리소그래피 : 자외선, 전자빔, 엑스선 등을 광원으로 이용하는
리소그래피
전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래의 한 종류이며, 자외선을 광
원으로 이용하는 리소그래피

키워드

리소그래피,   식각,   습식,   건식,   노광,   공정,   발표