목차
1.박막 공정 정의
2.박막 공정 개요
3.박막 제조 공정
4.기타 부가 공정
5 진공과 진공증착
2.박막 공정 개요
3.박막 제조 공정
4.기타 부가 공정
5 진공과 진공증착
본문내용
하는 물질을 내부에서 말하자면, "태워서" 거의 완전한 진공으로 만듭니다. 이런 목적으로 쓰는 것을 "게터"라고 부릅니다.
우리가 흔히 보는 비닐봉지의 은박 같은것도 높은 진공에서 알미늄을 증발시켜서 얇게 입힌것으로 이때 확산 펌프가 쓰이는데, 먼저 일반 진공펌프로 춤분히 공기를 뺀다음, 확산펌프로 마저 공기를 빼야만,기계를 가동 할수 있습니다.
일반적인 것은 우리가 병의 물을 빨대로 빨아먹는 것과 같이 밀폐된 용기에 연결된 펌프가 계속적으로 "빨아내는" 다시 말해서 계속 부피를 늘려주는 것입니다.
펌프가 유체를 밀어낼때는 부피를 계속 줄여주고 있는것이며, 이를 여러가지 기계적 방식으로 하는 것이 용적식의 펌프류이고,
또다른 가장 흔히 쓰는 펌프류는 원심력을 이용한 회전식의 펌프인데, 어떤 펌프도 빨아들이는 쪽은 많으나, 적으나, 진공을 만들게 되어 있습니다. 다만, 진공전용으로 효율을 좋게 만드는것이 진공펌프입니다.
다만 확산 펌프는 전혀 다른 원리로 온도에 따라 공기를 녹이는 양이 아주 차이가 많고, 공기를 극히 잘 녹이는 액체를 사용하여, 내부의 공기를 녹인다음 온도를 떨어뜨려서 공기를 뱉아내게 하는 과정을 연속으로 일어나게 하는 장치입니다.
우리가 흔히 보는 비닐봉지의 은박 같은것도 높은 진공에서 알미늄을 증발시켜서 얇게 입힌것으로 이때 확산 펌프가 쓰이는데, 먼저 일반 진공펌프로 춤분히 공기를 뺀다음, 확산펌프로 마저 공기를 빼야만,기계를 가동 할수 있습니다.
일반적인 것은 우리가 병의 물을 빨대로 빨아먹는 것과 같이 밀폐된 용기에 연결된 펌프가 계속적으로 "빨아내는" 다시 말해서 계속 부피를 늘려주는 것입니다.
펌프가 유체를 밀어낼때는 부피를 계속 줄여주고 있는것이며, 이를 여러가지 기계적 방식으로 하는 것이 용적식의 펌프류이고,
또다른 가장 흔히 쓰는 펌프류는 원심력을 이용한 회전식의 펌프인데, 어떤 펌프도 빨아들이는 쪽은 많으나, 적으나, 진공을 만들게 되어 있습니다. 다만, 진공전용으로 효율을 좋게 만드는것이 진공펌프입니다.
다만 확산 펌프는 전혀 다른 원리로 온도에 따라 공기를 녹이는 양이 아주 차이가 많고, 공기를 극히 잘 녹이는 액체를 사용하여, 내부의 공기를 녹인다음 온도를 떨어뜨려서 공기를 뱉아내게 하는 과정을 연속으로 일어나게 하는 장치입니다.
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