주사전자현미경 - 전기/전자 레포트

본 자료는 4페이지 의 미리보기를 제공합니다. 이미지를 클릭하여 주세요.

해당 자료는 4페이지 까지만 미리보기를 제공합니다.
4페이지 이후부터 다운로드 후 확인할 수 있습니다.

본문내용

1. SEM의 개요
SEM의 원리
- Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서 Sample과의 상호작용에 의해 발생된 S.E(Secondary Electron)를 이용 Sample의 표면을 관찰하는 장비
- electron beam은 세 개의 Electromagnetic lens에 의해 집속되어 Specimen표면에 도달
- 표면에 도달한 electron beam은 secondary electron 발생 수집된 Secondary electron은 Scintillator에서 Light로 변환되고 이 Light는 Photomultiplier에서 Electric signal로 변화

키워드

원리, 개념, 응용

목차

본문내용

키워드

추천자료