TiO2 박막합성법

목차

1. 산화티타늄의 원료 광물

2. 산화티타늄의 특성과 용도

3. 산화티타늄의 제조

Ⅰ. CVD(chemical vapor deposition) Method

Ⅱ. Sputtering Method

Ⅲ. Spray Pyrolysis Method

Ⅳ. Sol-Gel Method

본문내용

하여 분무한 다음 furnace(400～800℃) 내로 carrier gas를 공급하여 입자를 제조하는 방법. 제조된 티타니아 입자의 광활성이 매우 낮다고 보고된 바 있음.
Ⅳ. Sol-Gel Method
솔-젤법(Sol-gel method)은 금속 알콕사이드의 가수분해와 축중합 반응에 의하여 금속 산화물을 제조하는 방법. 이러한 솔-젤법은 금속 알콕사이드 용액의 가수분해와 생성된 젤의 소성을 통해 금속 산화물을 제조 할수 있으며 기존의 제조 방법에 비해 meltimg 과정이 필요 없고 저온에서 세라믹을 제조 할 수 있음
- 특징
(1) precursor의 균일한(homogeneous)상태 유지
(2)고순도, 고균질의 제품을 얻을 수 있음
(3) 저온 공정
(4) film등의 여러 형태로 제조 가능

키워드

tio2 합성,   티타늄 광물,   TiO2 박막합성법