Cu film(필름)의 전기적 특성 분석 실험

목차

1. 실험목적

2. 실험순서

3. 이론적 배경

4. 실험결과

5.고찰

본문내용

분석, 생체시료 등)
5. 기기조작, 취급이 간편하고 분석소요시간이 짧음
4-point prove
안쪽 두 점 사이의 전압과 바깥쪽 두 점 사이의 전류를 측정하여 thin layer 및 sheet의 저항치를 측정하는 게측기
장점: 측정 시간이 짧으며 정확한 값을 얻을 수 있다.
크기에 큰 영향을 받지않고 저항률을 측정하는데 널리 이용된다.
전압 차가 야기되어 전기적 잡음이 발생한다.
4. 실험결과
※ 열처리 온도에 따른 resistivity의 변화

as-dep
100℃
300℃
400℃
500℃
resistivity
(μΩ-㎝)
1000000*
0.26154Ω/□*0.0000001cm
=2.6154μΩ-㎝
1000000*
0.25865Ω/□
0.0000001cm
=2.5865μΩ-㎝
1000000*
0.20709Ω/□
0.0000001cm
=2.0709μΩ-㎝
1000000*
0.15467Ω/□
0.0000001cm
=1.5467μΩ-㎝
1000000*
0.14086Ω/□
0.0000001cm
=1.4086μΩ-㎝
resistivity(μΩ-㎝)= sheet resistance(Ω/)× 두께(㎝)



※ SEM, XRD 분석에 따른 고찰
5.고찰

키워드

cu필름제조,   Cu film,   전기적 특성 분석