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포토마스크를 제작하는 회사로 우뚝 서게 될 것이다.
4.phase shift mask (위상변이마스크)
1)원리
위상변이마스크는 기존의 일반마스크 기판에 위상반전층을 형성하여 이 부분을 투과한 빛의 위상(phase)을 반전 혹은 변이 시킴으로써 해상력을 높
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판화 되어감에 따라 기존의 주력 생산품이었던 새도우 마스크 가격이 하락했다.
그러자 향후 성장을 이끌 PDP와 LCD 부품인 PDP 후면판과 포토마스크로 주력 제품을 바꾸었다. 이를 위해 작년 1,600억원 이상의 설비투자를 단행했으며, 올해 역시
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포토리소그래피
포토레지스트
포토레지스트용 신나
현상액
린스액
레지스트박리제
기판표면개질제
감광성폴리머를 yd제에 녹인액
크실렌, 지방족계탄화수소
(네가티브용)지방족계탄화수소
(포지티브용)유기아민계혼합액, 규산소다, 인산소
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