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한다.
4) 800℃가 될 때까지 각 구간에서의 Thermocouple meter온도를 측정한다.
4. 결과 및 고찰
Thermocouple을 이용해 Furnace내의 온도를 측정한 결과 각 구간마다 온도차가 다르다는 것을 알 수 있었다. 가령 초반부(24cm ~ 28cm구간)의 기울기는 12.25(°C/cm)
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1) 소성작업에 의한 분류
2) 불꽃의 진행방향에 의한 분류
3) 불꽃과 피가열체의 접촉방법에 의한 분류
4) 사용연료에 의한 분류
5) 용도에 의한 분류
6) 형상에 의한 분류
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인상법
단결정(seed crystal)을 접촉시킨 후 서서히 위로 올리면 seed crystal의 결정
방향과 동일한 방향의 실리콘 단결정이 따라 올라오면서 결정 성장이 이루어지는 방법 .
1. 고주파 or 저항 가열체로부터 석영 or 흑연도가니 가열
2. 도가니
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가열체로부터 가열되는 석영이나 흑연도가니 속에 다결정 실리콘 덩어리를 넣고 가열하여 액화시킨 실리콘에 종자결정(seed crystal)을 담가 천천히 상부로 끌어 올리면서 회전 시켜 종자 결정방향과 일치하는 단결정을 만드는 방법.
부유대역
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가열체의 접촉방법, ④ 사용연료의 종류, ⑤ 용도, ⑥ 형상 등에 따라 여러 종류가 사용된다. 한국에서 많이 사용되고 있는 가마를 보면 오름가마(등요)·꺾임불꽃식가마·터널가마 등이 있으며, 연료로는 벙커시유·경유·가스 등이 주로 쓰인
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