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성장온도로 인한 석영도가니 침식
• 산소가 단결정에 함께 존재함
• 불순물이 상대적으로 많은편 단결정 실리콘 성장기술
단결정 실리콘 제조 방법 - 인상법
- 장단점
- 한계
- 부상 도가니 Czochralski
- 액상 방지
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단결정의 새로운 성장기술 개발, 신건철, 한국과학재단
· 광학결정, 마야자와 신타로
· 전자부품연구원 전자정보센터 2005.9월 자료
· ㈜애드밸류 2005.9 보고서. 1. Wafer Preparation
2. Czochralski growth Method & Floating Zone growth Method
3. Cz grower(pul
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실리콘 결정이 보인다. 바로 이것이 다결정이다.
다결정이 많이 없을수록 효율이 좋아진다. 이에 반해 단결정은 무뉘가 하나로 되어 있는 것
인데 다결정에 비해 효율이 높다. 그 이유는 다결정의 결정립은 전자의 이동을 방해하는 성
질을
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기술 및 노하우 축적에 많은 성과를 올리고 있어 300㎜장비 상용화 시점을 크게 앞당길 것으로 기대되고 있다. 반도체의 제조과정 및 제조기술
1. 반도체소자의 제조과정
1). 단결정성장
2). 규소봉절단
3). 웨이퍼 표면연마
4). 회로설
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기술이 발전하고 있다. 반도체소자의 제조공정
1. 단결정성장
2. 규소봉절단
3. 웨이퍼 표면연마
4. 회로설계
5. 마스크(Mask)제작
6. 산화(Oxidation)공정
7. 감광액 도포(Photo Resist Coating)
8. 노광(Exposure)공
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